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來源：www.jjprcw.cn
發布者：陶瓷吸盤廠家
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發布日期：2018-05-03
LPCVD懸臂舟陶瓷真空吸盤主要用于半導體光伏行業中薄膜的制備。如擴散上下料機，懸臂舟是擴散上下料機中的關鍵部件，主要用于擴散前后的硅片裝卸。
采用精密耐磨耐高溫陶瓷結構的懸臂舟或稱裝卸片機械手通常由50片真空吸盤組成，一次可裝卸50片硅片。陶瓷結構的懸臂舟有著不變形、無污染、易維護的優點。懸臂舟依靠真空吸盤的吸力和硅片自身重量采用軟著陸的方式裝卸硅片，可大幅降低碎片率和對載具的精度要求。真空吸盤單片誤差可控制在0.005mm以內，50片疊加誤差不超過0.2mm。
LPCVD石英舟，擴散石英舟，氧化鋯承載舟主要用于半導體光伏行業中薄膜的制備。在LPCVD（低壓化學氣相淀積）工藝中石英舟是硅片在反應室中的載具。
越飛陶瓷生產的陶瓷石英舟托齒和吸盤采用精密耐磨耐高溫的氧化鋯陶瓷材料，目前主要分4.76、2.38兩種齒距。氧化鋯石英舟強度高不易變形，無污染，擴散過程中不易粘舟，容易維護，相比普通石英舟使用壽命更長。
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