氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料,用于厚膜集成電路。氧化鋁陶瓷有較好的傳導性、機械強度和耐高溫性,需要注意的是需用超聲波進行洗滌。
氧化鋁陶瓷是一種用途廣泛的陶瓷,因為其優越的性能,在現代社會的應用已經越來越廣泛,滿足于日用和特殊性能的需要。
1、干壓成型
氧化鋁陶瓷干壓成型技術僅限于形狀單純且內壁厚度超過1mm,長度與直徑之比不大于4∶1的物件。成型方法有單軸向或雙向,壓機有液壓式、機械式兩種,可呈半自動或全自動成型方式,壓機最大壓力為200Mpa。產量每分鐘可達15~50件。
由于液壓式壓機沖程壓力均勻,故在粉料充填有差異時壓制件高度不同,而機械式壓機施加壓力大小因粉體充填多少而變化,易導致燒結后尺寸收縮產生差異,影響產品質量。
因此干壓過程中粉體顆粒均勻分布對模具充填非常重要,充填量準確與否對制造的氧化鋁陶瓷零件尺寸精度控制影響很大,粉體顆粒以大于60μm、介于60~200目之間可獲最大自由流動效果,取得最好壓力成型效果。
2、注漿成型法
注漿成型是氧化鋁陶瓷使用最早的成型方法,由于采用石膏模、成本低且易于成型大尺寸、外形復雜的部件,注漿成型的關鍵是氧化鋁漿料的制備。
通常以水為熔劑介質,再加入解膠劑與粘結劑,充分研磨之后排氣,然后倒注入石膏模內,由于石膏模毛細管對水分的吸附,漿料遂固化在模內,空心注漿時,在模壁吸附漿料達要求厚度時,還需將多余漿料倒出,為減少坯體收縮量、應盡量使用高濃度漿料。
氧化鋁陶瓷漿料中還需加入有機添加劑以使料漿顆粒表面形成雙電層使料漿穩定懸浮不沉淀。此外還需加入乙烯醇、甲基纖維素、海藻酸胺等粘結劑及聚丙烯胺、阿拉伯樹膠等分散劑,目的均在于使漿料適宜注漿成型操作。